在芯片制造領(lǐng)域,每一步工藝的精準(zhǔn)度都直接決定產(chǎn)品的良率與性能,而超純水作為芯片生產(chǎn)中不可或缺的“工業(yè)血液”,其純度要求高——水中任何微小雜質(zhì)、離子都可能導(dǎo)致芯片電路短路、性能衰減,甚至直接報(bào)廢。隨著芯片制程向納米級(jí)進(jìn)階,對(duì)超純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)提出了嚴(yán)苛的要求,萊特萊德深耕超純水領(lǐng)域多年,憑借創(chuàng)新工藝與核心技術(shù),推出適配芯片生產(chǎn)的超純水設(shè)備,為“芯”制造保駕護(hù)航。
傳統(tǒng)芯片生產(chǎn)所用超純水多采用離子交換樹脂工藝制備,雖能滿足基礎(chǔ)水質(zhì)需求,但存在明顯短板:樹脂需定期再生,不僅耗費(fèi)大量化學(xué)材料與人力成本,再生過程中產(chǎn)生的廢液還會(huì)造成二次污染,且出水水質(zhì)穩(wěn)定性不足,難以適配高端芯片的生產(chǎn)需求。針對(duì)這一行業(yè)痛點(diǎn),萊特萊德經(jīng)過長(zhǎng)期實(shí)踐與技術(shù)迭代,將膜分離技術(shù)與傳統(tǒng)工藝深度融合,采用反滲透加離子交換系統(tǒng)(或EDI)相結(jié)合的核心工藝,徹底破解傳統(tǒng)工藝的局限。

萊特萊德超純水設(shè)備的核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在工藝創(chuàng)新與品質(zhì)可控上。該設(shè)備采用全膜法工藝,先通過反滲透技術(shù)截留水中的溶解鹽類、膠體、微生物及有機(jī)物,實(shí)現(xiàn)深度脫鹽;再通過EDI電去離子技術(shù)進(jìn)行深度精處理,無需酸堿再生即可連續(xù)去除水中殘余微量離子,既降低了運(yùn)行成本,又避免了化學(xué)污染。設(shè)備搭載PLC智能控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行、自動(dòng)啟停與在線水質(zhì)監(jiān)測(cè),配備的電阻率監(jiān)測(cè)儀與TOC檢測(cè)儀,能實(shí)時(shí)監(jiān)控水質(zhì)波動(dòng),確保出水穩(wěn)定性。
在水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)上,萊特萊德超純水設(shè)備出水水質(zhì)嚴(yán)格符合美國(guó)ASTM D5127電子及半導(dǎo)體業(yè)用純水水質(zhì)Type E-1.3標(biāo)準(zhǔn),電阻率可達(dá)18 MΩ·cm(25℃),水中顆粒物、TOC等指標(biāo)均達(dá)到高端芯片生產(chǎn)要求,可廣泛應(yīng)用于晶圓清洗、蝕刻、光刻等芯片生產(chǎn)關(guān)鍵工序,有效防止雜質(zhì)污染,提升芯片良率。同時(shí),設(shè)備采用模塊化緊湊設(shè)計(jì),占地面積小,可根據(jù)芯片生產(chǎn)規(guī)模靈活定制,適配不同廠房布局需求。
深耕行業(yè)多年,萊特萊德憑借自主研發(fā)的核心膜技術(shù)與完善的全流程服務(wù),已為多家半導(dǎo)體企業(yè)提供超純水解決方案,其設(shè)備運(yùn)行可靠、能耗低、運(yùn)行成本低,且無廢液排放,符合綠色生產(chǎn)理念。如今,芯片產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈,萊特萊德超純水設(shè)備以穩(wěn)定的性能、嚴(yán)苛的水質(zhì)控制與高效的環(huán)保優(yōu)勢(shì),成為芯片制造企業(yè)降本增效、提升核心競(jìng)爭(zhēng)力的重要支撐,用純凈科技助力我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

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